用于光学检测的斐索干涉仪

张开发
2026/4/21 10:46:47 15 分钟阅读

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用于光学检测的斐索干涉仪
摘要斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下我们建立了一个Fizeau干涉仪并将其用于测试不同的光学表面例如圆柱形和球形表面。结果表明表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。建模任务测试表面非序列追迹通用探测器和探测器附加组件总结-组件…观测下的倾斜平面被观测圆柱面被观测球面

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